多晶硅还原炉红外线加热灯管

 我司为国内首家研制出多晶硅还原炉红外灯管的厂家，打破多年国外产品的垄断，产品价格仅为国外产品的五分之一，同时品质上与国外产品几乎无异，为多晶硅企业节约大量的资金投入，使其产品更加具有市场竞争力。

一般网带式烧结炉采用电热丝作为加热元件，主要通过热传导对工件进行加热，无法实现急速升温。只有辐射或微波能够迅速加热物体，而辐射加热具有使用经济、安全可靠、更换方便等优点。所以多晶硅还原炉基本都采用红外石英灯管作为主要加热元件。它的设计使用需注意以下三个问题：

1、红外加热管的结构形式

为实现烧结段的温度尖峰，需在很短的炉膛空间内布置足够的加热功率。有短波孪管和短波单管两种结构可以选择，其线性功率密度均达到60kW/m2。短波孪管拥有更高的单根功率(相当于两根单管并联)，但由于其制造工艺复杂，对石英玻璃管的质量要求更高，制造成本约是单管的2.5倍。

2、红外辐射吸收光谱

当红外辐射能量被工件吸收时，该物质所特有的吸收光谱需与发射光谱相匹配，才能在Zui短时间内Zui大效率地吸收辐射能。因此，在烧结的不同阶段，所选用的红外石英灯管也是不同的。在烘干段，要让有机溶剂和水分迅速挥发，采用中波管辅助热风加热是正确的;在预烧段，要让基片获得充分均匀的预热，中波管良好的红外辐射、均衡的吸收及穿透能力，正好符合要求;在烧结段，必须在极短时间内使基片达到共晶温度，只有短波管能做到这一点。

3、红外加热管的固定方式

烧结段的温度峰值在850℃左右，此时灯管的表面温度将达到1100℃，接近石英管的使用极限，稍微过热产生气孔就会立刻烧毁灯管。而在灯管的引出导线部位，由于焊接导线的金属片和石英玻璃密封在一起，二者热膨胀系数不一致，如果此处温度过高就会产生应力裂纹，造成灯管漏气。因此灯管在炉膛中的安装固定方式十分重要。红外灯管在炉膛中固定方式：要求灯管的冷端距离炉壁至少80mm以上，保证引出导线部位的温度不会过高;而且炉壁上安装孔的直径要比灯管大2～3mm，通过两侧的固定夹具将灯管悬空夹持在炉膛中。